Qhov sib txawv ntawm Sputtering Txheej thiab Nqus Txheej hauv Lub Tuam Txhab iav

Tsis zoo li lub tshuab nqus tsev evaporation, sputtering yog siv cov ions siab zog kom sib tsoo nrog cov khoom siv lub hom phiaj, thiaj li tsim cov atoms, molecules, ions ya tawm, yog li tsim ib zaj duab xis ntawm substrate.

Cov cuab yeej no yog txoj kev siv ntau tshaj plaws nyob rau hauv peb lub khob iav fwj Hoobkas nyob rau hauv lub popularization thiab industrialization ntawm ntau lawm. Qhov tshwm sim sputtering yog pom los ntawm Grove ntawm A1 ntawm lub cathode ntawm qhov chaw ntawm lub raj xa tawm.

High-zog ions (los yog nruab nrab ions) thiab lub hom phiaj cov ntaub ntawv los tsim elastic kev sib tsoo, lub hom phiaj nto ntawm ions nqus lub zog no, thiab tom qab ntawd ntxiv kev sib tsoo nrog cov ions nyob ib puag ncig, qhov tshwm sim yog txiav tawm lub hom phiaj nto atoms txuas rau kev sib txuas ntawm qhov saum npoo ntawm lub atom ya tawm, ua rau sputtering.

Txhua yam kev cuam tshuam los ntawm sputtering yog siv tau rau ob zaug electron emission, iav cathode (lub hom phiaj) sputtering, roj analytical decomposition, cua kub ntawm cathode, kis ntawm vaj nyob rau hauv layout, lattice hloov thiab ion implantation. Piv nrog rau tus naj npawb ntawm qhov xwm txheej zoo, R dhau los ua ob lub electron emission coefficient ntawm lub khob iav, thiab nws cov nqi cuam tshuam los ntawm cov khoom ntawm lub hom phiaj, qhov zoo ion huab hwm coj, lub peev xwm ionization thiab lub zog loj ntawm ob. electrons.

Thaum qhov zoo particle zog nce mus txog kaum ob mus rau pua pua ntawm electron volts tus nqi R yog nyob rau hauv lub tuam txhab iav ob peb 1% ob peb ib-feem pua.

Thaum qhov zoo ion sib tsoo nrog lub hom phiaj, nws ua kom sov thiab 75% ntawm nws lub zog hloov mus rau hauv tshav kub, yog li cov khoom siv lub hom phiaj yuav tsum tau txias kom lub hom phiaj tuaj yeem decomposed lossis txawm yaj. Feem ntau, lub zog ntawm lub tshuab nqus tsev vapor los ntawm lub evaporation qhov chaw ya tawm ntawm lub atom nyob rau hauv lub iav Hoobkas yog 0.1ev, nyob rau hauv lub hom phiaj cov ntaub ntawv txaws tawm ntawm lub atomic zog tshaj lub nqus evaporation qhov chaw ya tawm. ntawm lub zog atomic mus rau qhov loj 1 ~ 2 qhov kev txiav txim ntawm qhov loj, txog 5 ~ 10ev, txhua chav tsev lub sij hawm muaj tus nqi sputtering r, r tus nqi thiab qhov xwm txheej zoo ion ceev thiab sputtering coefficient tus nqi yog proportional rau cov khoom.